一、全自动探针台主要由什么组成
全自动探针台是一种用于半导体行业的重要设备,主要用于在制造集成电路的过程中对芯片进行测试和验证。探针是用来与芯片上的接触点进行接触并测试其性能的工具,而探针台则是用于控制探针的精确位置和操作,以及进行数据采集和处理的重要设备。
全自动探针台的结构包括以下几个主要部分:
1、机械系统:机械系统是核心部分,它包括一个精密的XYZ坐标系,用于控制探针的移动。这个坐标系通常由高精度的直线导轨、伺服电机和光学编码器组成。此外,机械系统还包括一个可以容纳多个探针的探针座,以及一个可以自动更换探针的装置。
2、光学系统:光学系统是重要部分之一,它包括一个高精度的显微镜和一组用于照明和观察芯片的镜头。通过光学系统,操作者可以清晰地观察到芯片上的接触点,并将探针准确地放置在接触点上。
3、电气系统:电气系统是控制中心,它包括一个主控制器、一个电源和一个与计算机连接的数据接口。主控制器用于控制机械系统和光学系统的操作,电源用于提供能量,而数据接口则用于将测试数据传输到计算机中进行处理和分析。
4、软件系统:软件系统是关键部分之一,它控制着整个测试过程,包括探针的移动、测试信号的施加和测量、以及数据的采集和处理等。软件系统通常采用图形用户界面(GUI)来方便操作者进行操作和监控。
二、国产与进口全自动探针台区别介绍
在选购全自动探针台时,很多人会纠结是买进口的还是国产的,想知道国产与进口全自动探针台区别有哪些?
1、探针数量
国产和进口全自动探针台的主要区别在于探针数量的不同。国产全自动探针台采用的是单探针或双探针设计,而进口全自动探针台则一般配备三至六个探针。
2、精度
在精度方面,进口全自动探针台通常比国产探针台更精确。这是因为许多进口探针台采用了先进的微机控制系统和高精度传动系统,具备更高的测量精度和可重复性。
3、使用寿命
进口全自动探针台通常采用的是优质材料和制造工艺,具有更长的使用寿命和更好的稳定性。而国产探针台由于材料和制造工艺的限制,使用寿命和稳定性方面可能存在一定的差距。
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