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手套箱的泄漏率是什么 手套箱的气体净化系统为什么需要再生

分类: 电子仪器 浏览量: 留言数: 37315

一、手套箱的泄漏率是什么

手套箱的泄漏率是手套箱最重要的一个指标,指的是在设定的压力下,通常在负压下,单位时间内空气泄漏入手套箱的速度,通常以每小时泄漏多少个箱体体积,即vol/h来描述。例如,将箱压为-10mbar下,在4小时内1升空气泄漏入一个单工位手套箱(箱体体积为750升),其泄漏率=1升/750升/4小时=1/3000=0.03%/小时。一般手套箱的漏气率为小于0.05%/小时,此手套箱合格。

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二、手套箱的气体净化系统为什么需要再生

手套箱的气体净化柱中装有水和氧气吸附材料,新的材料的吸附能力最强,吸附速度最快。随着被吸附的杂质量的增加,吸附剂的吸附速度将逐渐下降,导致手套箱内的水氧浓度逐渐上升。而且,如果操作过程中带入少量水氧导致水氧浓度上升,水氧浓度要恢复到操作前的水平需要更长的时间。当水氧浓度或水氧浓度的恢复时间达到不可接受的情况下,净化柱就需要再生了。

三、手套箱多长时间再生一次

净化柱的再生间隔由两个因素决定的。

1、净化柱的吸附量,即当吸附柱吸附杂质到一定量后,其纯化能力已不能维持水氧浓度在要求范围内或水氧浓度恢复速度不能满足要求。手套箱的净化柱的吸附量通常为20-60升O2。

2、手套箱的泄漏率和操作时引入杂质的量。

a)手套箱的泄漏率通常为<0.05%/hr,即57升O2/月。威格的超低泄漏率为<0.001%vol/h,即1升O2/月。

b)操作时会引入少量水氧,但只要按照操作规程,没有严重误操作,水氧被引入手套箱内是非常有限的。一年因操作引入的水氧也不会超过净化柱的吸附量。

由此可见,只要遵循手套箱的操作规程,杂质进入手套箱的主要渠道是通过手套箱上的连接处和手套泄漏进去的。所以,手套箱的泄漏率决定了再生间隔,通常在一个月到一年之间。

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