整体式质谱氮气发生器的原理主要基于变压吸附制氮原理，即利用吸附剂（如碳分子筛）对空气中氧、氮吸附能力的差异来实现氧、氮的分离。
具体来说，当空气经过净化处理后，通过切换阀进入吸附塔。在吸附塔内，氧气被分子筛吸附，而氮气则聚集在吸附塔的顶部并进入氮气储罐。随后，氮气再经过滤净化，即可获得合格的氮气。这一过程是通过两只吸附塔交替进行吸氧产氮和脱氧再生，从而实现连续不断地产出氮气。
此外，整体式质谱氮气发生器还采用了一些技术来提高氮气的纯度和产量。例如，仪器控制系统采用专用芯片，整个工作过程均由程序控制完成，实现自动恒压、恒流，氮气流量可根据用量实现全自动调节。同时，电解池采用立式单液面双阴极，膜分离技术，催化层使用高效载体及贵金属催化物，使得电解池催化效率高，产气量大，氮气纯度高。
整体式质谱氮气发生器通过变压吸附制氮原理以及一系列先进的技术手段，实现了氮气的高效、纯净和连续生产，为质谱分析等领域提供了稳定可靠的氮气源。
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